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碳化硅陶瓷承載盤 碳化硅陶瓷的特性與金剛石非常相似,它是最輕、最硬、最堅(jiān)固的技術(shù)陶瓷材料之一。同時(shí),碳化硅陶瓷具有出色導(dǎo)熱性、耐酸性和低熱膨脹性,是一款正兒八經(jīng)的半導(dǎo)體陶瓷,碳化硅陶瓷加工而成的工件貫穿了整個(gè)半導(dǎo)體行業(yè)的芯片制造過程,碳化硅陶瓷承載盤就是一款應(yīng)
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