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8英寸微孔陶瓷靜電卡盤
  • 8英寸微孔陶瓷靜電卡盤
產(chǎn)品名稱

8英寸微孔陶瓷靜電卡盤
加工精度 0.01mm
是否定制 訂制
粗糙度 Ra0.8
材料成分 多孔陶瓷、氧化鋁
我要定制 按客戶需求接受定制;歡迎來廠參觀！
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8英寸微孔陶瓷靜電卡盤

多孔陶瓷靜電卡盤臺或拋光卡盤臺供應給半導體行業(yè)，用于硅片切割或精加工。
本產(chǎn)品為均勻致密的框架，強度高，孔隙率好，吸力持久，品質優(yōu)良，效率高，無污染，固定精度高。
可用尺寸直徑 6 英寸、8 英寸、12 英寸和定制尺寸或具有高平行度和平面度的設計。
提供的服務如下：
■制作新型多孔陶瓷靜電卡盤
■修復不平整表面并使多孔卡盤平行化
■用新的多孔陶瓷板翻新無法使用的卡盤

8英寸微孔陶瓷晶圓吸盤

利用多孔陶瓷的特性，可以均勻固定物體（薄膜、電路板、晶片等），而不會出現(xiàn)夾持力不一致的情況。這可以在磁性和非磁性部件的氣氛中進行抽吸。
它適用于夾持薄元件，例如薄半導體器件、3D 內(nèi)存板、薄膜/薄膜、倒裝芯片鍵合機夾持臺等。

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