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porous chuck wafer多孔陶瓷晶圓吸盤
  • porous chuck wafer多孔陶瓷晶圓吸盤
產(chǎn)品名稱

porous chuck wafer多孔陶瓷晶圓吸盤
加工精度 0.01mm
是否定制 訂制
粗糙度 Ra0.8
材料成分 氧化鋁
我要定制 按客戶需求接受定制;歡迎來廠參觀！
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porous chuck wafer多孔陶瓷晶圓吸盤

類型：多孔陶瓷+不銹鋼或氧化鋁陶瓷
尺寸：標(biāo)準(zhǔn) 6 到 12 英寸尺寸（可根據(jù)要求定制尺寸）
形狀：圓形/方形/矩形……
目數(shù)：標(biāo)準(zhǔn)#600（也可開發(fā)其他粒度要求。）
陶瓷顏色：灰色/米色
特點：孔隙率好，精度高

porous chuck wafer多孔陶瓷晶圓吸盤

 多孔陶瓷由像海綿一樣從內(nèi)部連接到表面的連續(xù)孔形成。這種技術(shù)有很多名稱，例如多孔陶瓷真空吸盤或卡盤。夾持面利用真空將被附著物體用大氣壓固定。這與吸盤的原理相同。傳統(tǒng)的解決方案使用用于空氣的通道，例如通過機械加工形成的凹槽或孔。這會導(dǎo)致薄膜變形和薄產(chǎn)品被吸入凹槽或孔洞等問題。我們的多孔陶瓷在整個表面上都有微米級的孔，可以均勻粘附而不會變形固定物體。

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